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抽速是分子泵的******参数，提高转速是加大抽速为直接的方法之一，随着动平衡技术的发展，分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展，分子泵转子材料也发生了变化，可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成，这使转子的转速得到进一步提高。
封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。
分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?原因：冷却不良，负载太大。解决方法：检查冷却系统，检查真空系统。

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真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。全文
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