双频球面激光干涉仪调光步骤及技巧是什么?
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  • 将线性干涉镜与测量反射镜距离远,根据近、远端光线照射的位置,可判断出激光头发出光线的倾斜方向,扭摆3角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆,再平移3角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。

  • 沿着两条标称相互垂直的轴,利用一个共同的基准,分别进行直线度测量,从而测量其垂直度。通常,这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线,在两次直线度测量期间,即不能移动(相对于工作台),也不能调整反射镜。这两次直线度测量,至少有一次是利用光学直角尺完成的。

  • 将干涉镜旋转90度,去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦,调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。

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