******们请赐教!超薄金刚石切割片解决方案是哪些?
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  • 金刚石内圆切片:内圆切片仍然是当前切割单晶硅和其他脆性材料的主要工具。加工晶圆大直径≤5200mm,刀片厚度0.3mm。该工具及内圆切片机,国内生产厂家颇多。但产品不能满足硅晶片向大直径发展的要求,且加工质量不佳,效率低,必将被淘汰。

  • 采用纯Co结合剂提高结合剂对金刚石机械包镶能力,影响结合剂对金刚石机械包镶的主要因素为结合剂的浸润性、屈服强度和红硬性等。在金属元素中,钴金属具有较好的综合性能。

  • 电镀金刚石制品可采用较高的磨料浓度,因而锯片锋利,可提高锯切加工效率;金刚石电镀复合基块的制备可选用Ⅱ、Ⅲ型低品级金刚石。由于刀头制造成本中金刚石的成本占有较高比例,因此可大幅度降低金刚石圆锯片刀头的制造成本。

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