求救,超高真空抽气系统中的氢分压突然升高,该怎么办?
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  • 分子泵使用过程出现超高真空抽气系统中的氢分压突然升高现象,原因和解决办法

  • 原因:1.泵体没彻*烘烤除气2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高

  • 排除方法:1.低于150摄氏度长时间烘烤去气2.冷却水温应低于14摄氏度,运转中保证冷却系统正常工作

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