分子泵发热有什么解决办法吗?求帮忙解答
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  • 动平衡跑掉,现象是运转过程噪音高,泵体发热,真空度影响不大,但要注意观察,容易发生叶片打碎现象;内部较脏,特别是制成物堆积过多造成运转不畅,导致电机高负载,运转发热;

  • 冷却水有问题,主要现象是温度高,电流率高,真空度无影响;轴承问题,使用时间过长或内部较脏,需要进行保养,更换新的轴承;

  • 分子泵漏气(包括管路接口),其主要现象表现为电流过高,且分子泵的转速低于额定转速,真空度不稳定;

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