怎么维修Leybold分子泵？知道的请回答

Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。
Leybold分子泵设计简单，体积轻巧，单段油回旋旋片式真空泵；莱宝单级旋片真空泵，高真空度极限压力0.08mbar，功率4kw
LEYBOLD在世界上四个国家设有工厂，每家工厂各自生产不同系列的真空元部件。其中有位于：德国的科隆，公司总部所在地，几乎生产所有系列的产品，包括Leybold分子泵

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问一下：Leybold分子泵的工作原理是什么？

Leybold分子泵涵盖各应用领域如：工业应用、PET挤出机脱气、电池烤箱、吸塑机械、包装机械、实验室、半导体、线路板、光伏太阳能、平板显示等；全文
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请问谁知道：爱德华分子泵控制器的特点是什么？

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