Edwards真空分子泵的维修注意事项是？有人知道吗？

Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards真空分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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