爱德华分子泵控制器维修要注意哪些？有谁可以回答一下吗？

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
当爱德华分子泵控制器出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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