Varian分子泵维修的方法有哪些？知道的请回答

Varian分子泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不会对材料施加应力。
varian分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的zhuan用泵。
油已经积碳，堵塞了油路，varian分子泵油无法起到很好的润滑作用，造成泵体温度过高，varian分子泵的使用不当，所以平时应注意varian分子泵油的正确使用。varian分子泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。

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