在系统中做主泵所谓主泵便是对真空系统被抽容器直接停止抽真空,以契合工艺要求所需真空度的真空泵。
前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强保持在其前级压强以下的真空泵。
增压泵增压泵平日指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以进步抽气系统在中心压强领域的抽宇量或失落前级泵抽气速度要求的真空泵。
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