Pfeiffer涡轮分子故障的处理办法有哪些?
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  • 异物进入Pfeiffer涡轮分子泵工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时,会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害,建议立即停机送修检测。

  • Pfeiffer涡轮分子泵真空度正常,可以达到全速,但是噪音大分子泵运行超过3年,可能内部陶瓷球轴承已磨损;如果放任不管,后续会磨损转子,对泵体内部造成更严重的损伤

  • Pfeiffer涡轮分子泵无法达到全速,真空度抽不下去请检查前级真空是否正常,如果是分子泵组,请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下,无法解决问题建议立即送修检测

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