Pfeiffer涡轮分子故障的处理办法有哪些？

异物进入Pfeiffer涡轮分子泵工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时，会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害，建议立即停机送修检测。
Pfeiffer涡轮分子泵真空度正常，可以达到全速，但是噪音大分子泵运行超过3年，可能内部陶瓷球轴承已磨损；如果放任不管，后续会磨损转子，对泵体内部造成更严重的损伤
Pfeiffer涡轮分子泵无法达到全速，真空度抽不下去请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测

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