求帮助！维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节？求解答

Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards二手分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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请问谁知道：怎么维修Leybold分子泵？

Leybold分子泵拥有非常强的排除水蒸气的能力；可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。全文
湛江普发分子泵哪里有

抽速是分子泵的核心参数，提高转速是加大抽速为直接的方法之一，随着动平衡技术的发展，分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展，分子泵转子材料也发生了变化，可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等.. 全文
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运行电机，当真空泵一切正常运行后，打开进出口气压表和進口真空泵，视其显示出适当压力后，渐渐地打开截止阀门，此外检查电机负荷情况。全文
请问：Leybold分子泵的工作原理是什么？教期待大神解答

Leybold分子泵应用范围：食品包装、金属工业、石化工业、真空热处理、真空吸塑、药科技、电子科技、半导体工业、真空电镀等行业全文

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