维修Pfeiffer涡轮分子的方法有哪些?教期待大神解答
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  • 异物进入Pfeiffer涡轮分子:工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时,会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害,建议立即停机送修检测。

  • Pfeiffer涡轮分子真空度正常,可以达到全速,但是噪音大分子泵运行超过3年,可能内部陶瓷球轴承已磨损;如果放任不管,后续会磨损转子,对泵体内部造成更严重的损伤。

  • Pfeiffer涡轮分子泵Hipace系列,采用复合轴承设计,内部主要由陶瓷球轴承,转子轴,安全轴承和磁性轴承组成,正常运行3-4年建议做一次标准保养

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