维修Pfeiffer涡轮分子的方法有哪些？教期待大神解答

Pfeiffer涡轮分子泵Hipace系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养
Pfeiffer涡轮分子真空度正常，可以达到全速，但是噪音大分子泵运行超过3年，可能内部陶瓷球轴承已磨损；如果放任不管，后续会磨损转子，对泵体内部造成更严重的损伤。
异物进入Pfeiffer涡轮分子：工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时，会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害，建议立即停机送修检测。

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