分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
为了解决漏油问题,在真空泵的维护过程中,需要更换老化的油窗、轴封、垫片和填充泵油的毡垫。真空泵检修后,加注前用真空泵油清洗真空泵,并用溶剂清洗加注口滤网,保持油箱清洁。
分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。
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