在运转1000—1500小时以后，须检查真空泵的各摩擦部位，如气缸内壁对活塞环，十字头对滑道，曲径对轴承等，如果发现有磨损不平即应予修正
每日检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求，以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
除了定期清洁和更换油和密封件外，还需要定期检查和维护分子泵，如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
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