阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
阿尔卡特ALCATEL涡轮分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。它的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。
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