普发真空涡轮分子泵的特点是什么？感谢回答

普发真空涡轮分子泵的工作原理是基于分子撞击的。当气体进入涡轮时，叶轮的高速旋转会将气体分子抛出并加速，使其撞击到涡轮的壁面上。由于撞击能量足够大，气体分子会被击出涡轮并进入下一级泵，zui终达到真空状态。
普发真空涡轮分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10-8Pa），具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。
普发真空涡轮分子泵广泛应用于镀膜、电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯、航空航天、核能源等相关行业和教学、科研单位。

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