维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节? 感谢回答
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  • Edwards二手分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏

  • 当Edwards二手分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。

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