涡轮分子泵的工作原理是什么？

涡轮分子泵的工作原理基于分子流动。转子高速旋转时，气体分子被转子叶片捕获并带到泵的排气侧，通过连续的分子流动将气体分子从真空室中抽出。由于分子流动的速度远远高于常规气体流动，涡轮分子泵可以实现高抽气速度，从而快速降低真空室内的气体密度和压力。
涡轮分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10-8Pa），具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。
广泛应用于镀膜、电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯、航空航天、核能源等相关行业和教学、科研单位。

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