维修爱德华分子泵维修要注意哪些细节? 还请不吝赐
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  • 爱德华分子泵维修不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

  • 爱德华分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。

  • 爱德华分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏

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