请问:维修Edwards进口分子泵时需要注意什么? 想知道
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  • 当Edwards进口分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。

  • 当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。

  • Edwards进口分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

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