Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的? 十万火急!
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  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏

  • 打开Edwards二手分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。

  • Edwards二手分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

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