检查真空表是不是出现了问题,Edwards真空分子泵维修出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
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