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爱德华分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
爱德华分子泵维修应在温度-10℃—50℃，相对湿度不大于85％，周围空气中无腐蚀性气体，无粉尘、无危险的环境中使用。
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