问一下：爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？想知道

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
当爱德华分子泵控制器未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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