分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使气体分子获得定向运动的速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵,分子泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
它的特点主要有: 1、泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵,后一级的入口与前一级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 0.01mm 的间隙,气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。
3、分子真空泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。 4、它的不足:抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。
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