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大神赐教！Edwards进口分子泵如何维修？

大神赐教！Edwards进口分子泵如何维修？
http://www.tz1288.com/ask/7573619.html
  • 真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
  • Edwards进口分子泵有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计
  • 正常使用下，为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
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