大神赐教!维修Edwards二手分子泵要注意哪些细节?
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  • Edwards二手分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

  • Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏

  • Edwards二手分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。

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