爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？有懂行的吗？

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
打开爱德华分子泵控制器之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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大神赐教！Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？

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Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？还请不吝赐

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大神赐教！Edwards真空分子泵的维修注意事项是？

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