哪位知道Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些?
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  • 当Edwards真空分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

  • 当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。

  • Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。

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