哪位知道Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？

Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards真空分子泵维修之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
当Edwards真空分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

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当Edwards真空分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。全文
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