帮个忙,维修Edwards进口分子泵时需要注意什么?求解答
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  • 当Edwards进口分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。

  • Edwards进口分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

  • Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏

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