当Edwards进口分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
Edwards进口分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
Edwards进口分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
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