维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？十万火急！

打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards真空分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？感谢回答

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