问一下:爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容?
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  • 当爱德华分子泵控制器出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。

  • 当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。

  • 爱德华分子泵控制器不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

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