打开Edwards真空分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
当Edwards真空分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
Edwards真空分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
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