爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？急！急！急！

当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开爱德华分子泵维修之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
爱德华分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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