维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？在线等

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards真空分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。

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