潽拓光电:什么是分子泵
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  • 分子泵是一种用于实现和维持高真空及超高真空环境的设备。以下是对其的详细介绍:分子泵的中文名即为“利用高速旋转转子”传输气体分子的一种动量型真空泵,通过把动量传递给气体分子来使其获得定向速度并被压缩、驱向排气口后被前级抽走。其中牵引式的工作原理为简式的转子上或定子圆柱面开有沟槽(如矩形槽等),可以充分利用外圆较高的线速度对气体进行更好的传递;复合型的还结合了涡轮式结构的特点来提。工作过程可概括为以下几个步骤:分子内部的高速旋转的叶片(或称转子)以每分钟数万的速度运转形成间隙→在碰撞到这些叶片时,原本杂乱无章的气体分子被赋予动能并获得沿特定方向的加速→经过多级结构的多次碰撞后逐步排出至系统外部,每一级的压力均有所降低直至达到所需的高/超高度真空状态为止。它能在较宽的压力范围内((10^-6\~大气)有效工作且无污染产生。。应用领域凭借上述特性优势,它在多个高科技领域中发挥着重要作用:包括半导体制造中的除杂保质、光学镀膜和高精度元件生产所需的洁净环境以及材料科学中各类薄膜纳米材料的制备研究等等;此外也常见于食品加工去味提纯、药品制造和研究实验室等多种场合之中以确保相关操作的质量和效率符合要求并推动科技进步发展。

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