shimadzu分子泵保养拆解
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  • Shimadzu分子泵作为高精度真空设备,其保养与拆解需严格遵循规范以确保性能稳定。以下为关键操作流程及注意事项: 一、拆解前准备1. 关闭电源并静置2小时,待转子完全停转2. 使用泄压阀释放腔体真空至常压3. 准备无尘操作台及工具包(含陶瓷镊子、防静电手套)二、分阶段拆解流程(1)外部组件拆卸- 拆除冷却水管时使用接水盘收集残余冷却液- 涡轮组件采用对角线松卸法逐步释放螺栓应力(2)部件处理- 转子提取需保持垂直姿态,防止磁轴承碰撞- 陶瓷轴承需用氟碳溶剂超声清洗(40kHz,30分钟)三、关键保养项目1. 轴承系统维护- 检查氮化硅滚珠磨损度(允许椭圆度0.8μm)- 更换润滑脂时采用真空脂定量填充(0.15±0.02ml)2. 动平衡校准- 使用激光动平衡仪检测,残余不平衡量应<0.5g·mm/kg- 配重调整精度需达0.01g级别四、重组装注意事项- 真空密封面涂抹全氟聚醚密封脂- 分阶段预抽真空至5×10?3Pa后启动低速磨合(3000rpm/2h)建议每4000工作小时或累计启停500次后执行保养。拆装过程中需实时监测环境湿度(<45%RH)及颗粒物浓度(CLASS 5洁净度)。异常振动值超过4.5mm/s时应立即停机排查。维护可延长分子泵使用寿命至30000小时以上。

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