上述讨论是涡轮分子泵选用有油的前级泵工作时应注意的事项。在当前研制成功的不同型的干式前级泵可作为涡轮分子泵的前级泵时就解决了有油系统的返流问题，实现清洁的真空获得，如能选用当前出现的那种从大气压一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。
使用涡轮分子泵时，通常可不用粗抽管道。如在快速循环的系统中，不设粗抽管道，可以选用那些耐大气冲击的涡轮分子泵。能直接从大气压力下对真空室进行抽真空。
涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。
请问：维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文
怎么维修Leybold分子泵？教期待大神解答
Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。 全文
帮个忙，维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？
当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。 全文
帮个忙，Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的？
Edwards二手分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。 全文
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