系统组成:电子光学系统(扫描电子显微镜)、图形发生器、精密工件台、控制系统、真空系统、精密电源。
主要应用:
1:半导体器件研究:微波晶体管,单电子晶体管,***点,超导环等
2:光电子器件研究:特种光栅,菲涅尔波带板,晶体检波器,光波导,光集成器件
3:微机械研究:微纳机电系统,微通道,微传感器,3D微结构
4:消费电子研究:全息光学元件,新一代DVD光,光学传感器,磁头,声表面波器件
5:其他研究:非生产掩膜板制作,图形位置标定和CD测量
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