咨询电话：15611171559
北京维意真空技术应用有限责任公司
主营：真空腔体加工，真空配件，原子层沉积镀膜设备，真空高低温探针台
咨询电话：15611171559
主营：真空腔体加工，真空配件，原子层沉积镀膜设备，真空高低温探针台
您好，欢迎莅临维意真空，欢迎咨询...
| 先生： |
| 价格： | 238000.0000 / 台 |
二、产品优势:
***的软件控制系统：系统集工艺配方、参数设置、权限设定、互锁报警、状态监控等功能于一体。三、技术指标:
基片尺寸 8英寸及以下尺寸 基片加热温度 室温~300℃ 前驱体源路数 标准3路前驱体管路，可选配 前驱体管路温度 室温～200℃，控制精度±0.1℃ 源瓶加热温度 室温～200℃，控制精度±0.1℃ ALD阀 Swagelok快速高温ALD***阀 本底真空 <5x10-3Torr，进口防腐泵（标配国产机械泵） 载气系统 N2或者Ar 长模式 连续和停留沉积模式任意选择 控制系统 PLC+触摸屏或者显示器 电源 50-60Hz，220V/20A交流电源 沉积非均匀性 非均匀性<±1% 设备尺寸 600mm x 600mm x 1100mm四、可沉积薄膜种类:
单 质：Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe… 氮化物：TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN … 氧化物：TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2… 其它化合物：GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3,SrTaO6…五、ALD应用实例:
存储容性电介质，铜互连中高深宽比扩散阻挡层，OLED无**钝化层，MEMS的高均匀镀膜，纳米多孔结构镀膜，特种光纤掺杂，太阳能电池，平板显示器，光学薄膜，其它各类特殊结构纳米薄膜。温馨提示：以上是关于原子层沉积镀膜的详细介绍，产品由北京维意真空技术应用有限责任公司为您提供，如果您对北京维意真空技术应用有限责任公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与行业专用设备相关的产品！
免责声明：以上信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷， 纠纷由您自行协商解决。
风险提醒：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必 确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈 等不诚信行为，请您立即与天助网联系，如查证属实，天助网会对该企业商铺做注销处理，但天助网不对您因此造成的损失承担责任！
联系：tousu@tz1288.com是处理侵权投诉的专用邮箱，在您的合法权益受到侵害时，欢迎您向该邮箱发送邮件，我们会在3个工作日内给您答复，感谢您对我们的关注与支持！
第7年
