直流磁控溅射技术
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
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直流磁控溅射技术
为了解决阴极溅射的缺陷,人们在20世纪开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和广泛应用。其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,磁控溅射台哪有卖,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电极中采用的不均匀磁场会使靶材产生显著的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般仅为20%-30%。
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溅射镀膜机溅射镀技术优点
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溅射镀膜机溅射镀技术优点
溅射镀膜机溅射镀技术应用 蒸发和磁控溅射两用立式装饰镀膜机,主要适用于塑料、陶瓷、玻璃金属材料表面镀制金属化装饰膜。由于镀膜室为立式容器,所以它具有卧式镀膜机的一切优点, 又利于自重较大的、易碎的镀件装卡,更可方便地实现自动生产线,是替代传统湿法水电镀的更为理想的新一代真空镀膜设备。本机镀部分产品可不做底油。本机主 要特点配用改进型高真空排气系统,抽速快、***、节电、降噪和延长泵使用寿命;实现蒸发、磁控溅射、自动控制,操作简单,工作可靠;
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磁控溅射镀膜机保养的
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镀膜机保养的重要性
大家都知道,镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量,为了更好的运行,要对镀膜机进行维护和保养,那么,那么知道真空镀膜机维护和保养的意义吗?下面,小编给大家讲解一下它们的意义。设备的日常维护保养是在生产中发现不正常现象,尽快解决。发现机械泵油减少要添加,不要认为油要定期才更换,磁控溅射台,否者到了维护时,泵的转子可能会磨损严重。例如,一些轴承工件转架卡,要更换轴承,否者等到它完全破碎,问题可就大了,可能会出现电机烧毁等问题。定期维护保养,有些人会问一个日常维护和定期维护的区别?实际上,每个设备都有使用寿命,例如,扩散泵用的硅油,使用寿命为两年左右,我们提早更换,这是浪费吗?不是,在生产中***不希望出现设备故障,把日常维护保养和定期维护保养都做好了,不仅延长了设备的使用寿命,还减少了运行故障,提高生产效率。
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