随着***能源日趋紧张,太阳能成为新型能源得到了大力开发,太阳能电池作为绿色环保的清洁能源,安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。
在太阳能电池链式扩散工艺中,选择磷酸作为扩散源,在整个扩散工艺的前道工序中,磷酸通过喷涂机均匀喷涂在硅片表面,然后硅片通过传动机构进入扩散炉,管式扩散炉,这样硅片表面的磷酸会在扩散炉升温阶段挥发,从而附着在扩散炉腔体上方保温材料的表面,并且在高温下保温材料会被磷酸腐蚀而掉落。
扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的“心脏”,因此扩散炉的质量影响到电池片的电性能。现在太阳能厂家流行的的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散,开管扩散的产量比较低,扩散炉厂家,偏磷酸的用量比较大;闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰;软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备,杭州扩散炉,而提出的新概念;软着陆扩散工艺质量完全受控;工艺有***尾气定向收集、集中处理排放;更加安环保。
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一。它的主要用途是对半导体进行掺杂,高温扩散炉价格,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。扩散炉特点: 主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺;工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染。
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