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50μm的超薄晶圆需要临时键合_HAPOIN
超薄晶圆临时键合机应用于晶圆临时性键合/解键合(Wafer Bonding/Debonding)工艺
超薄晶圆临时键合机(50μm)的特点:
4”-8”/8”-12”晶圆适用,支持极薄化晶圆的键合。
可选真空热压/UV/激光等键合方式
键合机智能测绘料篮内晶圆,兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
键合机支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准
超薄晶圆临时键合机可自动完成晶圆键合(Wafer Bonding)工艺。
可选配晶圆键合后的在线检测功能
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力
50μm超薄晶圆临时键合机规格:
贴片机 Wafer Bonding系列
键合晶圆尺寸 4”-8”/8”-12”
支持体基板 玻璃
键合装置:真空热压/UV/激光 定制
粘贴装置 搭载
晶圆盒形式 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他 SECS/GEM 或简易联网能力
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衡鹏供应
超薄晶圆支持系统/超薄晶圆临时键合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/wafer debonder/晶圆键合
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