洁净室气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
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洁净室的负荷特点和节能
一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室,尤其是半导体工业洁净室而言,其负荷特点是:由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量消耗大;送风量大,输送动力消耗大,风机管道温升高;生产设备的发热量大,消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此,净化空调系统节能措施应从减少新风量(减少排风量);控制送风量(合理确定换气次数);充分利用回风量;选择低阻力***的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。
洁净室如何达到等级标准?
静压差
净室维持一定的正压是保证其不受或少受污染、以维持设计洁净度等级***的条件之一。即便是负压洁净室,也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。
我国对洁净室设计规范规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(~5Pa),洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH20(~l0Pa)。
除了满足等级标准,在使用洁净室时还要注意以下几点:
1、操作人员应具备衣着规范标准,满足卫生要求;要定期进行清洗与消防工作;
2、要定时替换消毒剂,以防微生物产生抗药性;
3、要保证安全门必须随时能够敞开,安全通道中禁绝堆积杂物,安全防火设备也应常常查看。
除此之外,保持良好的操作习惯和维护习惯才能让洁净室将作用和效果发挥到好处
洁净室节能的技巧
自由冷却
使用外面的空气进行冷却是经济的,在商业大楼得到采用。另外一种“自由冷却”方案适用于需要恒定的冷冻水以及风机盘管的系统,比如洁净室。
自由冷却技术直接利用处在低温或低湿度环境中的冷却塔制造冷冻水,减少或取代冷冻机的使用。根据天气的变化,使用自由冷却系统可以把冷却系统的耗能减少到十分之一(从0.5千瓦/冷吨减少到0.05千瓦/冷吨)。
直接与工艺负荷进行热交换,可以使自由冷却技术利用外面温度较高的大气,要比用在二级或者三级热交换系统进行热交换的时间长出若干个小时。由板式热交换器分隔开来的冷却水和冷凝水之间的温差很接近(比如只有2℉)。当温度和湿度相当低时,冷却塔可以独立运行,无需风机。根据温湿图,很多地方每年有很多的时间都可以进行自由冷却。
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