PECVD中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。
在具体应用中双色石英管液位计具体维护保养要点如下:
1、包装后的水位计可用常规的运输工具运输,但应避免剧烈振动和雨雪直接侵蚀。
2、水位计应放在温度0~40℃,相对湿度不大于80%的干燥通风室内,室外空气不应含腐蚀仪表的介质。
3、水位计必须垂直安装,石英板品牌,其垂直偏差度应小于3°。
4、水位计与容器之间应装有截止阀,以便清洗和检修时与介质隔离。
5、根据介质情况,应定期对本体管进行清洗,清除管内的杂物。
石英管的种类大致可分为以下几种:透明石英管(外径1.5毫米--300毫米)、滤紫外石英管、彩色石英管乳白管,粉红管等。
石英管的级别可分为合格管,一级管,优级管和脱羟管等。
石英管怎么去区分好坏?
一:闻起来有很天然的石味道、闻气味残次的石英石出产过程中加入了含甲醛的胶水,好的石英管都是环保材料出产。出产出的板材有很浓的甲醛味,这种石英管报价再贱卖也不能选啊,危害生命!
二:有气孔则欠好的石英管、表面是不是有气孔。
三:不明显的为好的产品、拼接处缝隙。
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