制造商提供了业界l先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点:
■ 无接触和无损伤测量
■ 适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
■ 适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅//石英/锗/铌酸锂
■ 适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
■ 测量多种不同指标:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■ 完整的分析系统:
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■ 超过15年的工业应用,***几百台的装机量
技术参数:
■ J确度:50nm (2.0μ″)
■ 重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
■ 分辨率:5nm (0.2μ″)
■ 可测量工件尺寸:25mm-200mm
■ 动态测量范围:>100um
■ 测量数据点:230,000 / measurement
■ 测量时间:5秒
■ 电源:~220V 50Hz
温馨提示:以上是关于蓝宝石晶棒晶片平坦度及表面形态检测测试仪的详细介绍,产品由北京合能阳光新能源技术有限公司为您提供,如果您对北京合能阳光新能源技术有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ,您也可以查看更多与二手机械设备相关的产品!
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