涡旋真空泵具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内具有稳定的抽速,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,这是其他类型的干式真空泵所不具备的。为实现涡旋泵有效工作的目的,必须使涡旋型线在各个真空气腔良好啮合,避免由于真空腔压差大等因素导致涡旋壁受力情况恶化、产生热变形、排气腔一部分高压气体滞留和真空泵效率降低等情况。所以要保证涡旋型线之间的包容与啮合,控制工作介质的泄漏,达到抽气目的。这是涡旋泵结构设计的重要依据。在泵的抽气流道中,无须使用任何油类和密封液体作为介质,依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出,连续完成吸气、压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏解决密封的问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即齿顶密封,和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。 目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好,不能做到完全无油,故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承,轴承与真空腔隔离,完全无油。并且装有控制系统,可变频控制0、50、60、70Hz,故性能较好。产品不需要维修,2~3年更换密封件,维护方便、简单,具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国销量达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵,到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进,形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气,可提高抽速,工作在从大气压到5.5×104Pa;第二级是单涡旋线,从5.5×104Pa到极限。一、二级同时工作,是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品,作为分子泵的前级主泵,不需要维修,2~3年更换密封件,维护方便、简单,因此在我国销量达100台/年以上。
真空泵的维修的基本知识点?随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。
旋片真空泵在使用一段时间后就可能会出现一些故障问题,比较常见的就是真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞等情况,甚至还可能出现“卡死”、生锈和大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象,这时候一定要对真空泵进行拆洗。
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