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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
主营：电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束
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您好，欢迎莅临沈阳鹏程，欢迎咨询...
| 先生： |
电子束蒸镀系统的特点
* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
* pocket电子
* 电子束源和基片遮板
* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能
* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
* 旋转样品台，提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
* PC全自动控制，具有高度的可重复性
* Labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的授权访问设计
* EMO保护以及完全的安全联锁
以上就是为大家介绍的全部内容，激光分子束外延设备公司，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。
电子束镀膜机部件介绍
镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空不锈钢， 厚度≥1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空不锈钢，激光分子束外延设备哪家好，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，激光分子束外延设备，希望对同行业的朋友有所帮助！
电子束镀膜机电源柜的操作
1. 总电源
2. 同时开电子控制Ⅰ和电子控制Ⅱ电源：按电子控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，激光分子束外延设备多少钱，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
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第5年
